真空碳管爐由爐身、爐蓋、真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等部分組成。爐身采用水冷夾層結(jié)構(gòu)。

    爐蓋可以借彈簧力開(kāi)啟。爐體上設(shè)有二個(gè)觀察窗，可以觀察工件加熱的情況。爐內(nèi)裝有石墨電極，它是由互相絕緣的兩個(gè)半圓組成的與石墨發(fā)熱體在其縱向開(kāi)了數(shù)條細(xì)封，以增加電阻，并使發(fā)熱體可以一端通電，而另外一端在加熱時(shí)允許自由的膨漲。

發(fā)熱體的周圍有多層隔熱屏裝置，其組裝在一起便于取出爐外。

真空系統(tǒng)是由擴(kuò)散泵、機(jī)械泵以及真空閥等組成。真空的測(cè)量采用熱偶真空計(jì)和電離真空計(jì)。電氣系統(tǒng)由可控硅電壓調(diào)整器、低電壓變壓器及控制柜所組成。